在微米之间“雕琢”中国智造

工匠金句

生活的精度，不在于完美无缺，而是在出了偏差时，有重新校准的勇气和能力。

——张浩

在沈阳和研科技股份有限公司（以下简称和研科技）的装配车间，38岁的张浩正俯身调试一台DS9260全自动精密划片机。他的手指轻转旋钮，屏幕上的精度数值从6.3微米缓缓跳至4.8微米。“稳住。”他低声自语……

扎根半导体装备装调一线12年，从6英寸到12英寸精密划片机，再到全自动晶圆研磨机、切割分选一体机，从手动调试到制定行业级标准，张浩把“微米级”的较真刻进了每台设备的齿轮里。那个“让中国自己的机器也能打磨出世界级芯片”的朴素愿望，已经在他的胸膛蓬勃燃烧，越烧越旺。

沈阳工匠世家的接力传承

张浩所在的和研科技，成立于2011年。企业致力于打破发达国家的技术封锁及产品垄断，实现国产化替代，现已发展为我国半导体磨划设备细分领域领军企业，累计获得知识产权158项，其中发明专利102项，为全球700余家公司提供磨划设备产品与服务，产品出货量达到全球前三。

和研科技“天地人和，研精覃思”的企业文化，与张浩的职业理想深度契合。“我是土生土长的沈阳人，祖父手中打磨的精密零件、父亲车间里轰鸣的机器‘交响’，都在无声诉说着老工业基地的力量与荣光。”张浩说，从小耳濡目染，“大国重器”的情怀早已悄然融入他的血脉。

所以，当他了解到我国高端芯片制造受制于人的“卡脖子”之痛，尤其是核心装备的短板，那份自豪感瞬间转化为一份沉甸甸的责任感。

把误差锁进5微米的“牢笼”

2017年，DS623划片机项目让张浩“一战成名”。客户要求将设备工作台平整精度从8微米压缩到5微米以内。整个团队试了一段时间，进展缓慢。“问题不在零件，在装配顺序。”记不清做了多少次试验，又失败了多少次。终于，张浩通过提高对加工件的精度要求、规范螺钉的力矩标准以及装配工艺的正确流程……一步步将6系划片机设备的工作台平整精度调试在5微米以内，使设备从出厂到现场精度误差率减少了50%，满足了客户现场应用对设备精度的需求。

截至目前，张浩作为主要参与人，参与研发的“一种多排芯片管装卸载装置及自动装管机”等两项专利，已让公司多款设备实现完全国产化，在微型发光二极管等高端领域站稳脚跟。

把“沈阳精度”刻进产业齿轮

工作中，张浩还积累了很多实用的小窍门和小经验，如用酒精擦拭接触面板减少信号故障、密封件浸泡润滑脂后提高安装成功率、在气源管道装可视流量计提前预判异常等。他还发现这些小技巧间存在关联，便将气源处理、润滑、冷却等方面的经验整合，创新提出“主轴全生命周期维护与优化系统”。这一系统让主轴平均无故障运行时间大幅延长，每年节约维修费用近20万元，生产停机时间减少60%，为企业增加近百万产值。

从业以来，张浩累计为公司创造经济效益超过2亿元。这个笑起来有点甜的沈阳小伙子，用实际行动把“沈阳精度”刻进滚滚向前的产业齿轮。

沈阳日报、沈报全媒体主任记者 封葑/文 记者 王雁/摄

来源：沈阳日报